电子行业废气处理

一、行业介绍

  电子产品产业链可以分为上、中、下三个层次：上面的层次是电子整机产品及电子终端产品，例如雷达、通信、广播电视、计算机、试听等设备；中间层次是成百上千种的电子基础产品，包括电子元件、半导体器件、电子真空器件、光电子器件等。他们经过组合装配便形成了各种电子终端产品；下面的层次是支撑着电子终端产品组装和电子基础产品生产的电子专用材料等，他们是电子产品的基础。因此，电子工业一般可分为电子专用材料，半导体器件，电子元件及印刷电路板，电真空器件、光电子器件，电子终端产品几个方面。

二、行业特点

  电子工业是VOCs排放的主要行业之一，电子工业废气VOCs排放种类多，组分复杂。一般来说，废气排放中风量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放量大（通常大于11000m3/h）和浓度低（通常小于25ppm）的特点。在产品制造过程中主要VOCs排放为异丙醇、丙酮、甲苯、二甲苯、醋酸丁酯、乙酸乙酯、甲基乙基酮等。

三、处理工艺

  针对电子行业的废气具有风量大、浓度低、种类繁多等显著特点，采用废气过滤装置+沸石转轮浓缩+旋转式RTO系统对VOCs进行治理。废气过滤装置采用四级过滤系统，能较完全地去除废气中0.5um以上的颗粒物，净化效率达到99%。大风量、低浓度的有机废气去除颗粒物后通过沸石转轮浓缩成小风量、高浓度气流，再将浓缩后的高浓度有机废气引入旋转式RTO进行高温氧化处理。其主要优点是废气处理效率达到99%以上、热回收效率达到95%以上；进入旋转式RTO前加入沸石转轮浓缩，使风量降低，浓度增高，减小旋转式RTO的配置参数。